Ultra-thin closed films by atomic layer deposition using inhibitors

  • Sara C.C. Tjon

Scriptie/Masterproef: Master

Datum prijs2022
Originele taalEngels
BegeleiderJ.H. (Sanne) Deijkers (Afstudeerdocent 1), Ilker Tezsevin (Afstudeerdocent 2) & Adrie J.M. Mackus (Afstudeerdocent 2)

Citeer dit

'