Time-frequency adaptive Iterative Learning Control
: with application to a wafer stage

  • R.M.L. Ellenbroek

Scriptie/Masterproef: Master

Samenvatting

Datum prijs31 mrt 2003
Originele taalEngels
BegeleiderMaarten Steinbuch (Afstudeerdocent 1), A.I. (Iuliana) Rotariu (Afstudeerdocent 2), M.J.G. (René) van de Molengraft (Afstudeerdocent 2) & Ad A.H. Damen (Afstudeerdocent 2)

Citeer dit

'