SCEPTER, een experiment voor de simulatie van plasma-etsen

  • M.L.P. Dirkx

Scriptie/Masterproef: Master

Samenvatting

Datum prijs31 aug 1990
Originele taalNederlands
BegeleiderH.A.J. Senhorst (Afstudeerdocent 1), H.C.W. Beijerinck (Afstudeerdocent 2) & Rien de Koning (Afstudeerdocent 2)

Citeer dit

'