Precursor blocking mechanisms of aniline inhibitor molecules in area-selective atomic layer deposition of TaN

  • Rik J. Lengers

Scriptie/Masterproef: Master

Samenvatting

Datum prijs16 jul 2021
Originele taalEngels
BegeleiderMarc J.M. Merkx (Afstudeerdocent 1) & Adrie J.M. Mackus (Afstudeerdocent 2)

Citeer dit

'