Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of Superconducting Tantalum Carbonitride for Quantum Devices

Scriptie/Masterproef: Master

Datum prijs2022
Originele taalEngels
BegeleiderHarm C.M. Knoops (Afstudeerdocent 1) & W.M.M. (Erwin) Kessels (Afstudeerdocent 2)

Citeer dit

'