Plasma-enhanced atomic layer deposition of PtOx on SiO2

  • T.H.J. Reijnaerts

Scriptie/Masterproef: Bachelor

Samenvatting

Datum prijs2012
Originele taalEngels
BegeleiderI.J.M. Erkens (Afstudeerdocent 1) & W.M.M. (Erwin) Kessels (Afstudeerdocent 2)

Citeer dit

'