Doorgaan naar hoofdnavigatie Doorgaan naar zoeken Ga verder naar hoofdinhoud

Plasma-assisted atomic layer deposition of PtOx in high aspect ratio trenches

  • P.W.P. de Brouwer

Scriptie/Masterproef: Bachelor

Datum prijs2013
Originele taalEngels
BegeleiderI.J.M. Erkens (Afstudeerdocent 1) & W.M.M. (Erwin) Kessels (Afstudeerdocent 2)

Citeer dit

'