Optimization of platinum atomic layer deposition on the FlexAL setup

  • T.A.P. van Stiphout

Scriptie/Masterproef: Bachelor

Datum prijs2013
Originele taalEngels
BegeleiderAdrie J.M. Mackus (Afstudeerdocent 1) & A.A. Bol (Afstudeerdocent 2)

Citeer dit

'