Optical emission spectroscopy during plasma-assisted atomic layer deposition of TiO2

  • A.E. Huisman

Scriptie/Masterproef: Bachelor

Samenvatting

Datum prijs2012
Originele taalEngels
BegeleiderN. Leick-Marius (Afstudeerdocent 1) & W.M.M. (Erwin) Kessels (Afstudeerdocent 2)

Citeer dit

'