Datum prijs | 31 okt. 2006 |
---|---|
Originele taal | Engels |
Begeleider | Marc G.D. Geers (Afstudeerdocent 1), W.A.M. Brekelmans (Afstudeerdocent 2), Jaap M.J. den Toonder (Externe coach) & Auke R. van Dijken (Externe coach) |
Measurements and modeling of the mechanical behaviour of thin free-standing metal films for RF MEMS
Scriptie/Masterproef: Master