Measurements and modeling of the mechanical behaviour of thin free-standing metal films for RF MEMS

  • B.G.R. van Schaik

Scriptie/Masterproef: Master

Datum prijs31 okt. 2006
Originele taalEngels
BegeleiderMarc G.D. Geers (Afstudeerdocent 1), W.A.M. Brekelmans (Afstudeerdocent 2), Jaap M.J. den Toonder (Externe coach) & Auke R. van Dijken (Externe coach)

Citeer dit

'