Mass spectrometry and ex-situ ellipsometry as analysis tools for plasma enhanced deposition of ZnO thin films

  • E.R. Kieft

Scriptie/Masterproef: Master

Datum prijs31 aug. 2001
Originele taalEngels
BegeleiderR. Groenen (Afstudeerdocent 1), M.C.M. (Richard) van de Sanden (Afstudeerdocent 2) & J.L. Linden (Externe coach)

Citeer dit

'