Hysteresis and dynamics compensation for accurate positioning in high speed piezo scanning stages

  • A.J.J. Steinbusch

Scriptie/Masterproef: Master

Datum prijs19 jun. 2020
Originele taalEngels
BegeleiderHamed Sadeghian Marnani (Afstudeerdocent 1) & Henk Nijmeijer (Afstudeerdocent 2)

Citeer dit

'