Hydrogen plasma-assisted spatial atomic layer deposition of SnOx

  • A. van der Velde

Scriptie/Masterproef: Master

Datum prijs2019
Originele taalEngels
BegeleiderW.M.M. (Erwin) Kessels (Afstudeerdocent 1) & Corn├ę H. Frijters (Externe coach)

Citeer dit

'