Functional analysis of retarding field energy analyzers for ion energy distribution measurements in plasma enhanced atomic layer deposition

  • Jan W. Buiter

Scriptie/Masterproef: Master

Datum prijs2018
Originele taalEngels
BegeleiderKarsten Arts (Afstudeerdocent 1), W.M.M. (Erwin) Kessels (Afstudeerdocent 2) & Harm C.M. Knoops (Afstudeerdocent 2)

Citeer dit

'