Etsen van SiO2, selectief t.o.v. Si en TiSi2 in een plasma reactor

  • M.E.F. Roelofs

Scriptie/Masterproef: Master

Samenvatting

Datum prijs31 okt 1997
Originele taalNederlands
BegeleiderGerrit M.W. Kroesen (Afstudeerdocent 1) & P.M. Meijer (Externe coach)

Citeer dit

'