Elementaire reacties bij de CVD van polykristallijn silicium uit silaan op Si(100)-(2x1)

  • H.H.C.M. Pinxt

Scriptie/Masterproef: Master

Datum prijs31 aug. 1992
Originele taalNederlands
BegeleiderW.L.M. Weerts (Afstudeerdocent 1)

Citeer dit

'