Dynamica van de SiFx-reactielaag bij het etsen van Si(100) met XeF2

  • M.F.A. Eurlings

Scriptie/Masterproef: Master

Samenvatting

Datum prijs31 okt 1996
Originele taalNederlands
BegeleiderM.J.M. Vugts (Afstudeerdocent 1)

Citeer dit

'