Dynamica van de SiFx-reactielaag bij het etsen van Si(100) met XeF2

  • M.F.A. Eurlings

Scriptie/Masterproef: Master

Datum prijs31 okt. 1996
Originele taalNederlands
BegeleiderM.J.M. Vugts (Afstudeerdocent 1)

Citeer dit

Documenten

  • full text

    Bestand: application/pdf, 2,7 MB

    Type: Scriptie

'