| Datum prijs | 30 apr. 1993 |
|---|---|
| Originele taal | Engels |
| Begeleider | J.K. Lenstra (Afstudeerdocent 1), J.B.M. Melissen (Afstudeerdocent 2) & Cor A.J. Hurkens (Afstudeerdocent 2) |
Citeer dit
- Standard
Determination of a time-optimal movement strategy for a step-and-scan wafer stepper
Scriptie/Masterproef: Master