Designing an in situ fast grating infrared spectroscope, and Argon-Oxygen plasma treatment of SiOxCyHz films

  • A. Klaver

Scriptie/Masterproef: Master

Samenvatting

Datum prijs2001
Originele taalEngels
BegeleiderM.F.A.M. van Hest (Afstudeerdocent 1) & M.C.M. (Richard) van de Sanden (Afstudeerdocent 2)

Citeer dit

'