Design of a short stroke actuator for the ATLAS reticle stage

  • A. de Klerk

Scriptie/Masterproef: Master

Samenvatting

Datum prijs31 aug 1997
Originele taalEngels
BegeleiderJ.C. Compter (Afstudeerdocent 1) & A.T.A. Peijnenburg (Afstudeerdocent 2)

Citeer dit

'