Conformality of ALD Li2CO3 films on a high aspect ratio µ-pillars

  • N.M.L. Baltussen

Scriptie/Masterproef: Bachelor

Datum prijs2017
Originele taalEngels
BegeleiderNorah Hornsveld (Afstudeerdocent 1) & M. (Adriana) Creatore (Afstudeerdocent 2)

Citeer dit

'