Chemical vapour deposition : the deposition of tungsten and aluminium nitride

  • H.T. Mollen

Scriptie/Masterproef: Master

Samenvatting

Datum prijs29 feb 1988
Originele taalEngels
BegeleiderR. Metselaar (Afstudeerdocent 1), L.R. Wolff (Afstudeerdocent 1), G. Verspui (Externe coach) & J. Smits (Externe coach)

Citeer dit

'