Characterization of Intrinsic and Aluminum-doped ZnO Deposited by Spatial ALD

  • Tim M.P. Broekema

Scriptie/Masterproef: Master

Datum prijs22 sep. 2021
Originele taalEngels
BegeleiderBart Macco (Afstudeerdocent 1), Bas W.H. van de Loo (Externe coach) & W.M.M. (Erwin) Kessels (Afstudeerdocent 2)

Citeer dit

'