Atomic layer deposition of thin film NbxTiyN for quantum applications

  • Lisa E.W.H.M. Nelissen

Scriptie/Masterproef: Master

Datum prijs26 jan. 2024
Originele taalEngels
BegeleiderSilke A. Peeters (Afstudeerdocent 1) & Harm C.M. Knoops (Afstudeerdocent 2)

Citeer dit

'