Area-Selective Deposition of Ruthenium by Atomic Layer Deposition and Etching

  • Hairui Chen

Scriptie/Masterproef: Master

Datum prijsjun. 2020
Originele taalEngels
BegeleiderAdrie J.M. Mackus (Afstudeerdocent 1), Marcel A. Verheijen (Afstudeerdocent 2) & Martijn F.J. Vos (Afstudeerdocent 1)

Citeer dit

Documenten

  • pdf

    Bestand: application/pdf, 27,7 MB

    Type: Scriptie

'