Area-selective atomic layer deposition using inhibitor molecules in multi-step cycles

  • Rick G.J. Jongen

Scriptie/Masterproef: Master

Samenvatting

Datum prijs2018
Originele taalEngels
BegeleiderMarc J.M. Merkx (Afstudeerdocent 1) & Adrie J.M. Mackus (Afstudeerdocent 2)

Citeer dit

'