Area-selective atomic layer deposition using inhibitor molecules in multi-step cycles

  • Rick G.J. Jongen

Scriptie/masterproef: Master

Uittreksel

Datum Prijs2018
TaalEngels
BegeleiderMarc J.M. Merkx (Afstudeerdocent 1) & Adrie Mackus (Afstudeerdocent 2)

Citeer dit

Area-selective atomic layer deposition using inhibitor molecules in multi-step cycles
Jongen, R. G. J. (Auteur). 2018

Scriptie/masterproef: Master