An experimental-numerical study of metal peel off in the Cu/low-k back-end structure of integrated circuits

  • René Kregting

Scriptie/Masterproef: Master

Datum prijs2006
Originele taalEngels
BegeleiderMarc G.D. Geers (Afstudeerdocent 1), Ron H.J. Peerlings (Afstudeerdocent 2) & Willem D. van Driel (Externe coach)

Citeer dit

'