An AFM study of ALD nucleation of titanium nitride on oxides

  • Joost Raukema

Scriptie/Masterproef: Bachelor

Samenvatting

Datum prijs2019
Originele taalEngels
BegeleiderAdrie J.M. Mackus (Afstudeerdocent 1) & David Kane (Afstudeerdocent 2)

Citeer dit

'