Zsolt Nényei: An early pioneer in rapid thermal processing

Fred Roozeboom

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Originele taal-2Engels
TitelRapid Thermal Processing and Beyond
SubtitelApplications in Semiconductor Processing - Selected papers from RTP specialists all over the world
Plaats van productieZürich
UitgeverijTrans Tech Publications
Aantal pagina's2
ISBN van geprinte versie9770255547605
StatusGepubliceerd - 1 jan 2008

Publicatie series

NaamMaterials Science Forum
Volume573-574
ISSN van geprinte versie0255-5476

Citeer dit