Variable gains in motion control of wafer scanners

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

4 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
TitelProceedings of the International Workshop on Sensing, Actuation, and Motion Control (SAMCON 2015), 9-10 March 2015, Nagoya, Japan
Plaats van producties.l.
Uitgeverijs.n.
Pagina's1-8
StatusGepubliceerd - 2015
Evenement1st IEEJ International Workshop on Sensing, Actuation, and Motion Control (SAMCON 2015) - Nagoya, Japan
Duur: 9 mrt 201510 mrt 2015
Congresnummer: 1
http://www2.iee.or.jp/~diic/samcon/2015/index.html

Workshop

Workshop1st IEEJ International Workshop on Sensing, Actuation, and Motion Control (SAMCON 2015)
Verkorte titelSAMCON 2015
LandJapan
StadNagoya
Periode9/03/1510/03/15
AnderSAMCON 2015
Internet adres

Citeer dit