Understanding and controlling atomic layer deposition of platinum and platinum oxide

I.J.M. Erkens

Onderzoeksoutput: ScriptieDissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)

1198 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
KwalificatieDoctor in de Filosofie
Toekennende instantie
  • Department of Applied Physics
Begeleider(s)/adviseur
  • Kessels, W.M.M. (Erwin), Promotor
  • Roozeboom, Fred, Promotor
  • Verheijen, Marcel A., Co-Promotor
Datum van toekenning1 jul 2014
Plaats van publicatieEindhoven
Uitgever
Gedrukte ISBN's978-90-386-3644-3
DOI's
StatusGepubliceerd - 2014

Citeer dit