Toward understanding wear particle generation on silicon wafers

Tom Bertens

Onderzoeksoutput: ScriptieEngD Thesis

82 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
Toekennende instantie
  • Mechanics of Materials
Begeleider(s)/adviseur
  • Hoefnagels, Johan P.M., Begeleider
  • Geers, Marc G.D., Commissielid
  • van den Broek, Kasper, Externe begeleider, Externe Persoon
Proefschriftsponsors
Plaats van publicatieEindhoven
Uitgever
StatusGepubliceerd - 30 nov. 2023

Bibliografische nota

EngD thesis. - Confidential until 15-5-2024

Citeer dit