Thermal and Remote Plasma ALD of Ru from CpRu(CO)2Et and O2

N. Leick, R.O.F. Verkuijlen, E. Langereis, S.A. Rushworth, F. Roozeboom, M.C.M. Sanden, van de, W.M.M. Kessels

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

73 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Thermal and Remote Plasma ALD of Ru from CpRu(CO)2Et and O2'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Fysica en Astronomie