The role of ion-bulk interactions during high rate deposition of microcrystalline silicon by means of the multi-hole-cathode VHF plasma

A.H.M. Smets, M. Kondo

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

19 Citaten (Scopus)

Vingerafdruk Duik in de onderzoeksthema's van 'The role of ion-bulk interactions during high rate deposition of microcrystalline silicon by means of the multi-hole-cathode VHF plasma'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Chemische stoffen

Engineering en materiaalwetenschappen

Fysica en Astronomie