The Gaussmount: design of a magnetic vibration isolation system

D.T.E.H. van Casteren

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

1 Downloads (Pure)

Samenvatting

Advances in semiconductor manufacturing equipment demand for continuous vibration isolation system improvements, including vacuum compatibility. At Eindhoven University of Technology, therefore, a noncontact, non-fluid or non-gas, permanent magnet-based vibration isolation system has been modelled, designed and constructed, capable of levitating and isolating a mass of 730 kg.
Originele taal-2Engels
Pagina's (van-tot)38-42
TijdschriftMikroniek
Volume2017
Nummer van het tijdschrift2
StatusGepubliceerd - 2017

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'The Gaussmount: design of a magnetic vibration isolation system'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Citeer dit