The chemical-mechanical relationship of the SiOC(H) dielectric film

C.A. Yuan, O. Sluis, van der, G.Q. Zhang, L.J. Ernst, W.D. Driel, van, R.B.R. Silfhout, van, B.J. Thijsse

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'The chemical-mechanical relationship of the SiOC(H) dielectric film'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Engineering en materiaalwetenschappen