Tailoring nanopore formation in atomic layer deposited ultrathin films

S. Karwal, T. Li, A. Yanguas-Gil, C.P. Canlas, Y. Lei, A.U. Mane, J.A. Libera, S. Seifert, R.E. Winans, J.W. Elam

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

6 Citaten (Scopus)
87 Downloads (Pure)

Vingerafdruk Duik in de onderzoeksthema's van 'Tailoring nanopore formation in atomic layer deposited ultrathin films'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Chemische stoffen

Engineering en materiaalwetenschappen

Fysica en Astronomie