Tactile 3D probing system for measuring MEMS with nanometer uncertainty : aspects of probing, design, manufacturing and assembly

E.J.C. Bos

Onderzoeksoutput: ScriptieDissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)

1345 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Tactile 3D probing system for measuring MEMS with nanometer uncertainty : aspects of probing, design, manufacturing and assembly'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Fysica en Astronomie