System identification for feedforward and feedback control : with application to semiconductor manufacturing

F.A.J. Boeren

Onderzoeksoutput: ScriptieDissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)

794 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
KwalificatieDoctor in de Filosofie
Toekennende instantie
  • Mechanical Engineering
Begeleider(s)/adviseur
  • Steinbuch, Maarten, Promotor
  • Oomen, Tom A.E., Co-Promotor
Datum van toekenning3 okt. 2016
Plaats van publicatieEindhoven
Uitgever
Gedrukte ISBN's978-90-386-4111-9
StatusGepubliceerd - 3 okt. 2016

Bibliografische nota

Proefschrift. - Titel omslag: System identification for feedback and feeforward control

Citeer dit