Sum-frequency generation study of the surface chemistry during atomic layer deposition

Onderzoeksoutput: ScriptieDissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)

270 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
KwalificatieDoctor in de Filosofie
Toekennende instantie
  • Department of Applied Physics
Begeleider(s)/adviseur
  • Kessels, W.M.M. (Erwin), Promotor
  • van de Sanden, M.C.M. (Richard), Promotor
Datum van toekenning20 jun 2017
Plaats van publicatieEindhoven
Uitgever
Gedrukte ISBN's978-90-386-4283-3
StatusGepubliceerd - 20 jun 2017

Bibliografische nota

Proefschrift

Citeer dit