Study of crack formation in high-aspect ratio SU-8 structures on silicon

S.N. Bystrova, R. Luttge, A. Berg, van den

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

16 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Study of crack formation in high-aspect ratio SU-8 structures on silicon'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Fysica en Astronomie

Engineering en materiaalwetenschappen

Chemische stoffen