Studies of the reactive ion etching of silicon-germanium alloys

G.S. Oehrlein, G.M.W. Kroesen, E. Frésart, de, Y. Zhang, T.D. Bestwick

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

49 Citaten (Scopus)
1572 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Studies of the reactive ion etching of silicon-germanium alloys'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Engineering

Material Science

Physics