Spatial atmospheric atomic layer deposition of InxGayZnzO for thin film transistors

A. Illiberi, B. Cobb, A. Sharma, T. Grehl, H.H. Brongersma, F. Roozeboom, G.H. Gelinck, P. Poodt

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

36 Citaten (Scopus)
5 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Spatial atmospheric atomic layer deposition of InxGayZnzO for thin film transistors'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Engineering en materiaalwetenschappen

Chemische stoffen