Selective atomic layer deposition and etching of oxides

A. Mameli

Onderzoeksoutput: ScriptieDissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)

437 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
KwalificatieDoctor in de Filosofie
Toekennende instantie
  • Department of Applied Physics
Begeleider(s)/adviseur
  • Roozeboom, Fred, Promotor
  • Kessels, W.M.M. (Erwin), Promotor
  • Mackus, Adrie J.M., Co-Promotor
Datum van toekenning5 jul 2018
Plaats van publicatieEindhoven
Uitgever
Gedrukte ISBN's978-90-386-4531-5
StatusGepubliceerd - 5 jul 2018

Bibliografische nota

Proefschrift

Citeer dit

Mameli, A. (2018). Selective atomic layer deposition and etching of oxides. Technische Universiteit Eindhoven.