Reticle side wall clamping

Onderzoeksoutput: Scriptie › Dissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)

3723 Downloads (Pure)

Originele taal-2	Engels
Kwalificatie	Doctor in de Filosofie
Toekennende instantie	Mechanical Engineering
Begeleider(s)/adviseur	Steinbuch, Maarten, Promotor Rosielle, Nick, Co-Promotor
Datum van toekenning	13 jun. 2013
Plaats van publicatie	Eindhoven
Uitgever	Technische Universiteit Eindhoven
Gedrukte ISBN's	978-90-8891-636-6
DOI's	https://doi.org/10.6100/IR756525
Status	Gepubliceerd - 2013

Toegang tot document

@phdthesis{c911ff69c2bb4b22a3596e4566bee8f6,

title = "Reticle side wall clamping",

author = "G.P. Naaijkens",

year = "2013",

doi = "10.6100/IR756525",

language = "English",

isbn = "978-90-8891-636-6",

publisher = "Technische Universiteit Eindhoven",

type = "Phd Thesis 1 (Research TU/e / Graduation TU/e)",

school = "Mechanical Engineering",

}