Remote plasma-enhanced metalorganic chemical vapor deposition of aluminum oxide thin films

I. Volintiru, M. Creatore, J.L. Hemmen, van, M.C.M. Sanden, van de

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

8 Citaten (Scopus)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Remote plasma-enhanced metalorganic chemical vapor deposition of aluminum oxide thin films'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Physics

Chemical Engineering