Real-time study of HWCVD a-Si:H film growth using spectroscopic second harmonic generation

W.M.M. Kessels, I.M.P. Aarts, J.J.H. Gielis, P.M.J. Grauls, C.M. Leewis, M.C.M. Sanden, van de

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

1 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
Titel3rd international conference on hot-wire CVD (Cat-CVD) process : August 23-27, 2004, Utrecht, The Netherlands : extended abstracts
Plaats van productieS.n.
Uitgeverijs.n.
Pagina's247-250
StatusGepubliceerd - 2004

Citeer dit