Reaction mechanisms during (plasma-assisted) atomic layer deposition processes

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresOtherAcademic

1 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Reaction mechanisms during (plasma-assisted) atomic layer deposition processes'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Fysica en Astronomie