Reaction mechanisms during (plasma-assisted) atomic layer deposition processes

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresOtherAcademic

1 Downloads (Pure)

Samenvatting

No abstract.
Originele taal-2Engels
Aantal pagina's1
StatusGepubliceerd - 2009
Evenementconference; Thin Film Nanomanufacturing Conference; 2009-11-25; 2009-11-25 -
Duur: 25 nov 200925 nov 2009

Congres

Congresconference; Thin Film Nanomanufacturing Conference; 2009-11-25; 2009-11-25
Periode25/11/0925/11/09
AnderThin Film Nanomanufacturing Conference

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Reaction mechanisms during (plasma-assisted) atomic layer deposition processes'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Citeer dit