Random electric fields and impurity diffusion in δ layers

N.S. Averkiev, A.M. Monakhov, A.Yu. Shik, P.M. Koenraad, J.H. Wolter

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

15 Citaten (Scopus)
41 Downloads (Pure)

Samenvatting

Impurity diffusion in the d layer during the process of its growth has been considered. Experiments show that the spreading of the impurity profile has a complex dependence on the in-plane impurity concentration. We carried out the numerical simulation of the self-consistent diffusion problem for the impurities moving in their own random electric field and have shown that at some critical impurity concentration in d layer the impurity distribution function perpendicular to the layer acquires a non-Gaussian character.
Originele taal-2Engels
Pagina's (van-tot)3033-3036
TijdschriftPhysical Review B
Volume61
Nummer van het tijdschrift4
DOI's
StatusGepubliceerd - 2000

Vingerafdruk Duik in de onderzoeksthema's van 'Random electric fields and impurity diffusion in δ layers'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Citeer dit